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P產品分類RODUCT CATEGORY
同惠TH521半導體參數分析儀是一款用于電路設計的綜合解決方案，可幫助是一款用于電路設計的綜合解決方案，可幫助電力電子電路設計人員選擇適合自身應用的功率器件，讓其電力電子產品發揮最大價值。它可以評測器件在不同工作條件下的所有相關參數，包括IV參數（擊穿電壓和導通電阻）、三端FET電容、柵極電荷和功率損耗。用于電路設計的TH521系列半導體參數分析儀具有完整的曲線追蹤儀功能以及其他功能。
產品型號：廠商性質：代理商更新時間：2026-04-14訪 問 量：168
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同惠TH521半導體參數分析儀介紹：
同惠TH521半導體參數分析儀是一款用于電路設計的綜合解決方案，可幫助是一款用于電路設計的綜合解決方案，可幫助電力電子電路設計人員選擇適合自身應用的功率器件，讓其電力電子產品發揮最大價值。它可以評測器件在不同工作條件下的所有相關參數，包括IV參數（擊穿電壓和導通電阻）、三端FET電容、柵極電荷和功率損耗。用于電路設計的TH521系列半導體參數分析儀具有完整的曲線追蹤儀功能以及其他功能。
TH521系列最大輸出電壓能達到±3500V最大輸出電流能達到±1800A，電壓測量最小分辨率100nV，電流測量最小分辨率10fA，針對電容測量集電極最大偏置電壓達到±3500V，測量頻率最高可以達到10MHz。
性能特點
TH521的常規特性
·高達3.5kV/1800A的寬廣工作范圍
從-50°C到+250°C的全自動快速熱測試
·自動創建功率器件（半導體和元器件）的技術資料
·自動記錄功能可防止數據丟失
·Al輔助編寫python測試腳本
TH521IV套件特性
·可對封裝和晶圓上器件進行全自動快速IV測量
(Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat等)
·窄IV脈沖寬度（最窄 10μs）可防止器件自發熱，更準確地測
試器件實際性能
·示波器視圖（時域視圖）可以監測實際電壓/電流脈沖波形，以
便進行準確測量
*配置可以靈活擴展，添加CV和Qg，將電流范圍從20A擴展
到200A、600A或 1800A
TH521套件的完整特性
·IV套件的全部特性
·測量封裝器件在3.5kV時的晶體管輸入、輸出和反向傳輸電容
(Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）以及柵極電阻(Rg)
·測量封裝器件的柵極電荷（Qg）曲線
·計算功率損耗（傳導、驅動和開關損耗）
應用領域
·半導體功率器件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
·半導體材料
晶圓切割、C-V特性分析
·液品材料
彈性常數分析、液晶切割
·電容元件
電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析
H521系列半導體參數分析儀技術參數：
MCSMU | |||
電壓范圍、分辨率和精度 | |||
電壓量程 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（% + mV + mV） | *大電流 |
200mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 1A |
2V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 1A |
20V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 1A |
40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
電流范圍、分辨率和精度 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（%+A+A） | *高電壓 |
10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 30V |
100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 30V |
1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 30V |
10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 30V |
100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 30V |
1A | 1uA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 30V |
典型分辨率 | 6?位 | ||
*大電壓 | ±30V | ||
*小電流 | 10pA | ||
脈沖*大占空比 | 5%（峰值超過100mA時） | ||
脈沖*小寬度 | 10μs | ||
脈沖*大寬度 | 100ms（峰值超過100mA時） | ||
直流*大電流 | ±100mA | ||
脈沖*大峰值 | ±1A | ||
脈沖*大基值 | ±50mA（峰值超過100mA時） | ||
HCSMU | |||
電壓范圍、分辨率和精度 | |||
電壓量程 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（% + mV + mV） | *大電流 |
200mV | 100nV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.05) | 20A |
2V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 20A |
20V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 20A |
40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
電流范圍、分辨率和精度 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（%+A+A） | *高電壓 |
10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 40V |
100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 40V |
1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 40V |
10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 40V |
100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 40V |
1A | 1μA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 40V |
20A | 20μA | ±(0.4 + 2E-3+Vo x 1E-4) | 20V |
典型分辨率 | 6?位 | ||
*大電壓 | ±40V | ||
*小電流 | 10pA | ||
脈沖*大占空比 | 1%（峰值超過1A時） | ||
脈沖*小寬度 | 50μs | ||
脈沖*大寬度 | 1ms（峰值超過1A時） | ||
直流*大電流 | ±100mA | ||
脈沖*大峰值 | ±20A | ||
脈沖*大基值 | ±100mA（峰值超過1A時） | ||
MPSMU | |||
電壓范圍、分辨率和精度 | |||
電壓量程 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（% + mV + mV） | *大電流 |
100mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 100mA |
1V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 100mA |
10V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 100mA |
100V | 100μV | ±(0.012 + 2.5 + Io x 10) | 20mA(≥40V) 50mA(≤40V) |
電流范圍、分辨率和精度 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（%+A+A） | *高電壓 |
1nA | 1fA | ±(0.1 + 2E-13 + Vo x 1E-15) | 100V |
10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14) | 100V |
100nA | 100fA | ±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13) | 100V |
1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12) | 100V |
10μA | 10pA | ±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11) | 100V |
100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10) | 100V |
1mA | 1nA | ±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9) | 100V |
10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 100V |
100mA | 100nA | ±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7) | 20V |
典型分辨率 | 6?位 | ||
*大電壓 | ±100V | ||
*小電流 | 1fA | ||
HVSMU | |||
電壓范圍、分辨率和精度 | |||
電壓量程 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度±(%+mV) | *大電流 |
200V | 200uV | ±(0.03+40) | 10mA |
500V | 500uV | ±(0.03+100) | 10mA |
1500V | 1.5mV | ±(0.03+300) | 10mA |
3500V | 3.5mV | ±(0.03+600) | 5mA |
電流范圍、分辨率和精度 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（%+A+A） | *高電壓 |
10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-11) | 3500V |
10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7+ Vo x 1E-9) | 1750V |
典型分辨率 | 6?位 | ||
*大電壓 | ±3500V | ||
*小電流 | 10fA | ||
UHCU | ||
電壓范圍、分辨率和精度 | ||
電壓量程 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度±(%+mV) |
60V | 100μV | ±(0.2+10) |
電流范圍、分辨率和精度 | 輸出/測量分辨率 | 輸出/測量精度（%+A+A） |
200A | 200μA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
600A | 500μA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
1800A | 2mA | ±(0.8 + 0.9 + 0.02*Vo) |
脈沖*大占空比 | 0.4%（600A量程）；0.1%（1800A量程） | |
脈沖*小寬度 | 10μs | |
脈沖*大寬度 | 1ms（600A量程）；500μs（1800A量程） | |
脈沖*大峰值 | 200A、600A、1800A量程 | |
MFCMU | ||
頻率 | 頻率范圍 | 1kHz~10MHz |
*小頻率分辨率 | 1mHz | |
頻率精度 | ±0.05% | |
AC電平 | 電平范圍 | 0~250mV |
分辨率 | 0.1mVrms | |
精度 | ±(10%*設定值+2mV) | |
DC偏置 | 范圍 | 0~±25V |
分辨率 | 1mV | |
準確度 | 1%*設定電壓+8mV | |
輸出阻抗 | 100Ω | |
測試端配置 | 四端對 | |
測試時間 | 快速2.5ms中速90ms慢速220ms | |
電容 | 顯示范圍 | 0.00001pF~9.99999F |
*高準確度 | 0.05% | |
TH521系列半導體參數分析儀選型表：
TH521-35-20 | IV: 3500V/20A |
TH521-35-20C | IV: 3500V/20A, CV: 10MHz, Qg |
TH521-35-200 | IV: 3500V/200A |
TH521-35-200C | IV: 3500V/200A, CV: 10MHz, Qg |
TH521-35-600 | IV: 3500V/600A |
TH521-35-600C | IV: 3500V/600A, CV: 10MHz, Qg |
TH521-35-1800 | IV: 3500V/1800A |
TH521-35-1800C | IV: 3500V/1800A, CV: 10MHz, Qg |
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